国产欧美国日产-亚洲 欧洲 日韩 综合 高清

手藝撐持

以后地位: 首頁 > 手藝撐持

激光三角檢測手藝

來歷:華之尊激光 ??時候:2018-09-25??閱讀:
  在激光三角檢測手藝中,用一邃密聚焦的激光束來掃描圓片外表,光學體系將反射的激光聚焦到探測器(圖1)。接納3D激光三角檢測術來檢測微凸點的描摹時,在精度、速度和可檢測性等方面它具備較著的上風。這一檢測手藝今朝所面對的挑釁包含有凸點的尺寸和凸點之間的距離都很小,和在全部圓片上充滿稀有百萬個凸點。
  圖1. 激光三角檢測術經由進程對切確聚焦激光探測束的反射來推算凸點的高度
  激光三角檢測術在激光探測束的掃描進程中能取得硅基片和凸點頂部數據,因為它對凸點外表及其周邊的基片只停止單次的掃描,如許便能夠或許消弭了在差別高度停止屢次掃描而帶來的偏差和內涵的不肯定性。單次掃描方式可對z標的目的停止高切確度和高緊密度的檢測,其機能能夠或許到達探測器的實際分辯率——這要比今朝凸點尺寸小一個數目級以上。
  激光三角檢測術除具備很高的檢測切確度和切確度之外,它還具備與出產才能相稱的檢測速度,數據的收羅速度足以知足大出產進程中對全部圓片停止檢測的需要。在全晶圓檢測形式中,體系經由進程一系列附近的線掃描來籠蓋全部圓片,單個掃描為600μm寬的長條形地區,所發生的典范數據密度為40,000個數據點/mm2(圖2)。變更采樣密度可對檢測進程停止優化,以最大水平地知足某些出格利用對分辯率、切確度和產量的請求,并且還能夠或許很輕易地知足未來凸點直徑和節距進一步減小后對檢測的請求。數據密度能夠或許按照所需的特點尺寸和產量停止增添或減小。該體系能夠或許在高產量下完成全晶圓的檢測,經由進程實行僅檢測指定芯片的采樣打算,就有能夠在保持檢測統計有用性的環境上去增添檢測產量。
  激光三角檢測手藝作為一種緊密手藝,對激光切割,激光雕鏤的切確度和切確度都有極大的增進感化。知足了各類產物對切確度和產量的請求。
国产欧美国日产-亚洲 欧洲 日韩 综合 高清 百度 好搜 搜狗

JINGGAO:BENZHANJINZHIWEIMAN18ZHOUSUIFANGKELIULAN,RUGUODANGDIFALVJINZHIQINGZIJUELIKAIBENZHAN!SHOUZANGBENZHAN:QINGSHIYONGCtrl+DJINXINGSHOUZANG